FSCC06 Micro Spray is used in photo resist coating & others material coating
ＦＳマイクロスプレーシステムは、Å（オングストローム）単位からの超薄膜コーティングが可能で、シャープエッジ部などの形状にも均一に薄膜をコーティングが可能です。数百Åからの一次粒子の発生を実現し、塗膜の均一性と品質、機能性が向上。コーティングムラ、コーティング欠陥がなく、超薄膜から厚膜領域で膜厚誤差範囲を±5%以下にコントロール可能。コーティング液の経済性の向上につながり、コーティング液及び希釈剤の使用量を大幅に削減可能としコストダウンに貢献します。
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